术，它是利用光的干涉条纹来提高测量的分辨率，其测量方法有双频激光干涉测量法、光外差干涉测量法、x射线干涉测量法、f一标准工具测量法等，可用于长度和位移的精确测量，也可用于表面显微形貌的测量。
二是扫描探针显微测量技术st，其基本原理是基于量子力学的隧道效应，它的原理是用极尖的探针或类似的方法对被测表面进行扫描探针和被测表面实际并不接触，借助纳米级的三维位移定位控制系统测出该表面的三维微观立体形貌。主要用于测量表面的微观形貌和尺寸。
用这原理的测量方法有扫描隧道显微镜st、原子力显微镜af等。
加工技术
纳米级加工的含意是达到纳米级精度的加工技术。
由于原子间的距离为01一03n，纳米加工的实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除，切断原子间结合所需要的能量，必然要求超过该物质的原子间结合能，即所播的能量密度是很大的。用传统的切削、磨削加工方法进行纳米级加工就相当困难了。
截至2008年纳米加工有了很大的突破，如电子束光刻uga技术加工超大规模集成电路时，可实现01μ线宽的加工离子刻蚀可实现微米级和纳米级表层材料的去除扫描隧道显微技术可实现单个原子的去除、扭迁、增添和原子的重组。
粒子制备
纳米粒子的制备方法很多，可分为物理方法和化学方法。
应用纳米技术制成的服装
真空冷授法用真空蒸发、加热、高频感应等方法使原料气化或形成等粒子体，然后骤冷。其特点纯度高、
名词解释-纳米技术(8/26)